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청색광 검출 Si Photodiode 에서 SiO2/Si3N4 광반사 방지막의 최적두께 설계

  • Ji Geum, JANG
제목
청색광 검출 Si Photodiode 에서 SiO2/Si3N4 광반사 방지막의 최적두께 설계
저자
Ji Geum, JANG
발행일
2004-05-28
학회명
2004년 한국반도체및디스플레이장비학회 춘계학술대회발표논문집
개최지
3권 1호
개최국가
대한민국
학회 개최일
6771

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