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FABRICATION AND MEASUREMENTS OF HIGH ASPECT RATIO CONDUCTIVE MICROTIP ARRAY WITH LOCALIZED ULTRA-MICRO ELECTRODE AT THE TIP END
- Seoung Jai Bai;
- 박재형;
- 이승기;
- 하준근;
- 김용권
- 제목
- FABRICATION AND MEASUREMENTS OF HIGH ASPECT RATIO CONDUCTIVE MICROTIP ARRAY WITH LOCALIZED ULTRA-MICRO ELECTRODE AT THE TIP END
- 저자
- Seoung Jai Bai; 박재형; 이승기; 하준근; 김용권
- 발행일
- 2012-02-02
- 학회명
- 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
- 개최지
- Paris, France
- 개최국가
- 프랑스
- 학회 개최일
- 2012-01-29 ~ 2012-02-02