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Fabrication and measurements of high aspect ratio conductive microtip array with localized ultra-micro electrode at the tip end
- Jae-Hyoung Park;
- 하준근;
- 김용권;
- 배성재;
- 이승기
- 제목
- Fabrication and measurements of high aspect ratio conductive microtip array with localized ultra-micro electrode at the tip end
- 저자
- Jae-Hyoung Park; 하준근; 김용권; 배성재; 이승기
- 발행일
- 2012-02-02
- 학회명
- 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012)
- 개최지
- 프랑스, 파리
- 개최국가
- 프랑스
- 학회 개최일
- 2012-01-29 ~ 2012-02-02