Fabrication and measurements of high aspect ratio conductive microtip array with localized ultra-micro electrode at the tip end

제목
Fabrication and measurements of high aspect ratio conductive microtip array with localized ultra-micro electrode at the tip end
저자
Jae-Hyoung Park; 하준근; 김용권; 배성재; 이승기
발행일
2012-02-02
학회명
25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012)
개최지
프랑스, 파리
개최국가
프랑스
학회 개최일
2012-01-29 ~ 2012-02-02