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LIDAR 적용을 위한 전자기력 구동 2 축 스캐닝 마이크로미러의 설계, 제작 및 측정

제목
LIDAR 적용을 위한 전자기력 구동 2 축 스캐닝 마이크로미러의 설계, 제작 및 측정
저자
Seung-Ki Lee; 박재형; 김준호; 이성우; 정해수; 이승기; 지창현
발행일
2015-04-03
학회명
제17회 한국MEMS학술대회
개최지
제주도
개최국가
대한민국

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