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Fabrication of Micro-Probe Sensor Array using Copper TGV(Through Glass Via)
- Seung-Ki Lee;
- 박재형;
- 김용권;
- 신영민
- 제목
- Fabrication of Micro-Probe Sensor Array using Copper TGV(Through Glass Via)
- 저자
- Seung-Ki Lee; 박재형; 김용권; 신영민
- 발행일
- 2015-02-11
- 학회명
- 제22회 한국 반도체 학술대회
- 개최지
- 인천 송도 컨벤시아
- 개최국가
- 대한민국