유연 기판을 가지는 마이크로 탐침 전극 어레이 제작

Fabrication of microtip electrode array with flexible substrate
제목
유연 기판을 가지는 마이크로 탐침 전극 어레이 제작
제목 (타언어)
Fabrication of microtip electrode array with flexible substrate
저자
Jae-Hyoung Park; 김지연; 이나경; 이승기
발행일
2022-04-06
학회명
제24회 한국 MEMS 학술대회
개최지
제주도
개최국가
대한민국
학회 개최일
2022-04 ~ 2022-04-08