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PECVD에 의한 비정질 탄소층 증착 및 Raman Spectroscopy 분석

  • Il Hyun Jung
제목
PECVD에 의한 비정질 탄소층 증착 및 Raman Spectroscopy 분석
저자
Il Hyun Jung
발행일
2007-06-21
학회명
한국전기전자재료학회 2007년 하계학술대회
개최지
보광휘닉스파크
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-06-21 ~ 2007-06-23

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