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자기정렬 공정으로 구현된 기준전극을 가지는 마이크로팁 전극 어레이 제작

제목
자기정렬 공정으로 구현된 기준전극을 가지는 마이크로팁 전극 어레이 제작
저자
Seung-Ki Lee; 박재형; 맹범렬; 이승기; 배성재
발행일
2015-04-03
학회명
제17회 한국MEMS학술대회
개최지
제주도
개최국가
대한민국

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