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Optimization of PSG Process Conditions for Passive-Device-Integrated Glass Interposer Fabrication
- Jae-Hyoung Park;
- 민병규;
- 방종현;
- 최재빈;
- 이승기
- 제목
- Optimization of PSG Process Conditions for Passive-Device-Integrated Glass Interposer Fabrication
- 저자
- Jae-Hyoung Park; 민병규; 방종현; 최재빈; 이승기
- 발행일
- 2026-07-09
- 학회명
- JCK MEMS/NEMS2026
- 개최지
- 벡스코,부산
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2026-07-09 ~ 2026-07-09