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O2 플라즈마 처리에 따른 ITO 투명전도막의 특성변화

  • Ji Geum, JANG
제목
O2 플라즈마 처리에 따른 ITO 투명전도막의 특성변화
저자
Ji Geum, JANG
발행일
2006-05-26
학회명
한국반도체및디스플레이장비학회 2006 춘계학술대회
개최지
한국기술교육대학교(두정캠퍼스)
개최국가
대한민국
학회 개최일
2006-05-26

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