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실리콘 건식 식각 방법을 이용한 다단 마이크로팁 어레이 제작
Fabrication of multi-height microtip array using silicon dry etching
- Seung-Ki Lee;
- 남경택;
- 김용권;
- 박재형
- 제목
- 실리콘 건식 식각 방법을 이용한 다단 마이크로팁 어레이 제작
- 제목 (타언어)
- Fabrication of multi-height microtip array using silicon dry etching
- 저자
- Seung-Ki Lee; 남경택; 김용권; 박재형
- 발행일
- 2022-04-06
- 학회명
- 제24회 한국 MEMS 학술대회
- 개최지
- 제주도
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2022-04 ~ 2022-04-08