수직 콤 구동기를 이용한 대면적 스캐닝 마이크로미러 어레이의 제작

제목
수직 콤 구동기를 이용한 대면적 스캐닝 마이크로미러 어레이의 제작
저자
Jae-Hyoung Park; 하준근; 전진아; 서정은; 유병욱; 진주영; 박일흥; 김용권
발행일
2010-07-16
학회명
대한전기학회 제41회 하계학술대회
개최지
부산 BEXCO
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-07-14 ~ 2010-07-16