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LIDAR 적용을 위한 전자기력 구동 2 축 스캐닝 마이크로미러의 설계, 제작 및 측정
- Jae-Hyoung Park;
- 박재형;
- 김준호;
- 이성우;
- 정해수;
- 외 2명
- 제목
- LIDAR 적용을 위한 전자기력 구동 2 축 스캐닝 마이크로미러의 설계, 제작 및 측정
- 저자
- Jae-Hyoung Park; 박재형; 김준호; 이성우; 정해수; 이승기; 지창현
- 발행일
- 2015-04-03
- 학회명
- 제17회 한국MEMS학술대회
- 개최지
- 제주도
- 개최국가
- 대한민국