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Fabrication and measurements of an individually addressable micro-probe electrode array using silicon through-glass via
- Seung-Ki Lee;
- 이승기;
- 신영민;
- 김용권;
- 박재형
- 제목
- Fabrication and measurements of an individually addressable micro-probe electrode array using silicon through-glass via
- 저자
- Seung-Ki Lee; 이승기; 신영민; 김용권; 박재형
- 발행일
- 2017-01-25
- 학회명
- MEMS 2017
- 개최지
- Las Vegas
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2017-01 ~ 2017-01-26