이미지 매칭 기반 웨이퍼 결함 패턴 검출에 관한 연구

Study on Wafer Failure Pattern Detection using Image Matching Algorithms
제목
이미지 매칭 기반 웨이퍼 결함 패턴 검출에 관한 연구
제목 (타언어)
Study on Wafer Failure Pattern Detection using Image Matching Algorithms
저자
KIM HYUN JIN; 오수민; 권영욱
발행일
2023-06-27
학회명
한국반도체테스트학회 2023
개최지
양재동 K호텔
개최국가
대한민국
학회 개최일
2023-06-27 ~ 2023-06-27