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이미지 매칭 기반 웨이퍼 결함 패턴 검출에 관한 연구
Study on Wafer Failure Pattern Detection using Image Matching Algorithms
- KIM HYUN JIN;
- 오수민;
- 권영욱
- 제목
- 이미지 매칭 기반 웨이퍼 결함 패턴 검출에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- Study on Wafer Failure Pattern Detection using Image Matching Algorithms
- 저자
- KIM HYUN JIN; 오수민; 권영욱
- 발행일
- 2023-06-27
- 학회명
- 한국반도체테스트학회 2023
- 개최지
- 양재동 K호텔
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2023-06-27 ~ 2023-06-27